本站音问,字据天眼查APP数据透露迈为股份(300751)新赢得一项实用新式专利授权,专利名为“磁控溅射圆柱靶及磁控溅射镀膜诞生”,专利苦求号为CN202323341015.8,授权日为2024年12月6日。
专利节录:本实用新式波及磁控溅射镀膜时间界限,尤其波及一种磁控溅射圆柱靶及磁控溅射镀膜诞生。磁控溅射圆柱靶包括磁轭、靶筒、中部封装壳体和至少两个边部封装壳体。其中,磁轭上诞生有中部封装壳体和至少两个边部封装壳体,中部封装壳体位于至少两个边部封装壳体之间,中部封装壳体内诞生有中部磁列,边部封装壳体内诞生有边部磁列;每一个边部封装壳体的一侧棱与中部封装壳体的两个侧棱之间的区域共同酿成一个弧面。靶筒为圆柱形,靶筒套设在磁轭的周侧,靶筒截面的圆心与弧面场所圆的圆心重合。该磁控溅射圆柱靶好像减小溅射角度,晋升靶材名义的磁通量,进而晋升靶材的旁边率和集聚率,达到从简资本的谋略打算。
本年以来迈为股份新赢得专利授权90个,较昨年同时加多了18.42%。纠合公司2024年中报财务数据,本年上半年公司在研发方面干预了4.19亿元,同比增47.24%。
数据开首:天眼查APP
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